Nguồn sáng đồng trục thế hệ thứ ba dùng cho chiếu sáng camera công nghiệp trong thị giác máy tính, phát hiện hư hỏng tấm wafer.

Nguồn sáng đồng trục thế hệ 3 – Coaxial Light LED cho camera công nghiệp và kiểm tra wafer

1. Tổng quan nhanh sản phẩm

Nguồn sáng đồng trục thế hệ thứ ba – Third Generation Coaxial Light là nguồn sáng LED chuyên dụng cho hệ thống Machine Vision và camera công nghiệp, được thiết kế để tạo ánh sáng đồng trục với trục quang học của camera.

Đây là cấu hình chiếu sáng đặc biệt phù hợp với các đối tượng có bề mặt phẳng, bóng, phản xạ cao hoặc dạng gương, trong đó có:

• Wafer silicon.
• Chip bán dẫn.
• Kính.
• Kim loại đánh bóng.
• Film.
• LCD.
• PCB.
• Linh kiện điện tử.

Nguồn sáng đồng trục sử dụng beam splitter/half mirror để đưa ánh sáng LED xuống bề mặt sản phẩm gần như cùng trục với camera. Nhờ đó, hệ thống có thể tạo vùng chiếu sáng đồng đều và làm nổi bật những thay đổi rất nhỏ trên bề mặt.

Đặc biệt trong kiểm tra wafer, Coaxial Light có thể hỗ trợ phát hiện:

• Vết xước.
• Bụi.
• Nhiễm bẩn.
• Nứt.
• Khuyết tật bề mặt.
• Sai lệch vị trí.
• Lỗi trên chip hoặc silicon wafer.

Các hệ thống kiểm tra wafer công nghiệp hiện cũng sử dụng internal coaxial LED kết hợp camera độ phân giải cao để kiểm tra bề mặt wafer tự động.

Tên sản phẩm đề xuất: Nguồn sáng đồng trục thế hệ 3 – Third Generation Coaxial LED Light cho Camera Machine Vision, kiểm tra wafer và bề mặt phản xạ.

---

2. Nguồn sáng đồng trục là gì?

Coaxial Light là nguồn sáng Machine Vision trong đó ánh sáng được đưa xuống sản phẩm theo cùng trục quang học với camera.

Nguyên lý cơ bản:

LED → hệ thống quang học → Beam Splitter/Half Mirror → sản phẩm → Lens → Camera

LED được bố trí bên trong nguồn sáng. Ánh sáng phát ra được đưa tới một gương bán phản xạ hoặc beam splitter.

Gương này thay đổi hướng truyền của ánh sáng để đưa ánh sáng xuống vật thể theo phương gần vuông góc với bề mặt.

Ánh sáng phản xạ từ sản phẩm sau đó quay trở lại theo đường quang học và đi vào camera.

Một số hệ thống sử dụng half-mirror có lớp phủ chống phản xạ để giảm ghost image và tăng độ rõ của hình ảnh.

---

3. “Thế hệ thứ ba” có ý nghĩa gì?

Cụm “thế hệ thứ ba – Third Generation” thường là cách nhà sản xuất hoặc nhà cung cấp phân biệt một phiên bản thiết kế mới của nguồn sáng.

Không nên hiểu “thế hệ thứ ba” là một tiêu chuẩn kỹ thuật bắt buộc trong ngành Machine Vision.

Tùy nhà sản xuất, thế hệ mới có thể tập trung cải thiện:

• Độ đồng đều ánh sáng.
• Cường độ sáng.
• Hiệu suất quang học.
• Khả năng tản nhiệt.
• Giảm ghosting.
• Độ ổn định màu.
• Tuổi thọ LED.
• Thiết kế cơ khí.
• Khả năng lắp đặt với lens.
• Khả năng điều khiển độ sáng.

Ví dụ, các dòng Coaxial Light hiện đại sử dụng mật độ LED cao, cấu trúc tản nhiệt chuyên dụng và quang học được tối ưu để tăng cường độ sáng cũng như tuổi thọ.

Vì vậy, nếu sản phẩm thực tế của MYTECH có mã model cụ thể, nên đưa mã đó vào tiêu đề hoặc bảng thông số để phân biệt chính xác phiên bản “thế hệ 3”.

---

4. Vì sao Coaxial Light phù hợp với kiểm tra wafer?

Wafer có bề mặt đặc biệt khó kiểm tra bằng nguồn sáng thông thường.

Bề mặt wafer thường:

• Phẳng.
• Có độ phản xạ cao.
• Có thể xuất hiện phản xạ gương.
• Có các cấu trúc cực nhỏ.
• Có thể chứa các vết xước hoặc hạt bụi rất nhỏ.

Nếu dùng Ring Light hoặc Bar Light chiếu từ một góc thông thường, ánh sáng có thể tạo ra:

• Hotspot.
• Phản xạ không ổn định.
• Vùng sáng tối không đồng đều.
• Khó phân biệt lỗi nhỏ với nền.

Coaxial Light đưa ánh sáng theo trục camera, giúp tạo điều kiện chiếu sáng phù hợp hơn cho những bề mặt phẳng phản xạ cao.

Các dòng Coaxial Light chuyên dụng hiện được nhà sản xuất liệt kê trực tiếp cho wafer OMM, wafer defect detection, chip inspection và contamination detection.

---

5. Nguyên lý phát hiện khuyết tật wafer

Có thể hình dung quá trình như sau:

Bề mặt wafer bình thường

Ánh sáng được phản xạ theo hướng tương đối ổn định.

Camera nhận được vùng hình ảnh có độ sáng tương đối đồng đều.

Khi xuất hiện vết xước

Vết xước làm thay đổi cấu trúc vi mô của bề mặt.

Ánh sáng bị tán xạ theo hướng khác → tạo ra sự thay đổi cường độ sáng trong ảnh.

Khi có bụi hoặc contamination

Hạt bụi làm thay đổi tính chất phản xạ của vùng nhỏ trên wafer → xuất hiện điểm sáng hoặc tối tương phản.

Khi có crack hoặc defect

Khuyết tật làm thay đổi đường truyền ánh sáng → tạo đặc điểm hình ảnh mà thuật toán Vision có thể nhận dạng.

Nhờ đó, Coaxial Light có thể hỗ trợ hệ thống camera trong các bài toán scratch inspection, contamination detection, crack inspection và defect detection.

---

6. Ưu điểm nổi bật của nguồn sáng đồng trục thế hệ 3

6.1. Độ đồng đều ánh sáng cao

Đây là yếu tố rất quan trọng trong kiểm tra wafer.

Nếu vùng sáng không đồng đều, thuật toán xử lý ảnh có thể nhầm sự thay đổi độ sáng của hệ thống với khuyết tật thực tế.

Nguồn sáng đồng trục được thiết kế để tạo ánh sáng đồng đều trên vùng quan sát, giúp giảm sai khác không mong muốn trong ảnh. Các hệ thống Coaxial Light chuyên dụng cũng nhấn mạnh khả năng uniform illumination cho hình ảnh độ phân giải cao.

---

6.2. Phù hợp bề mặt phản xạ cao

Coaxial Light đặc biệt phù hợp với:

• Wafer.
• Silicon.
• Chip.
• Kim loại bóng.
• Kính.
• Film.
• LCD.

Các dòng OPT Coaxial Light hiện được ứng dụng cho defect detection trên chip và silicon wafer, cũng như các chi tiết chính xác có độ phản xạ cao.

---

6.3. Giảm ảnh hưởng của ghosting

Ghost image có thể làm xuất hiện hình ảnh phụ hoặc vùng sáng không mong muốn trong camera.

Một số thiết kế Coaxial Light sử dụng half mirror phủ chống phản xạ để giảm ghosting và cải thiện chất lượng hình ảnh.

Đây là yếu tố đặc biệt quan trọng khi kiểm tra wafer hoặc các vật thể có độ phản xạ cao.

---

6.4. Làm nổi bật khuyết tật nhỏ

Nguồn sáng đồng trục giúp tạo nền hình ảnh tương đối ổn định.

Khi xuất hiện:

• Xước.
• Bụi.
• Crack.
• Contamination.
• Vết lõm.
• Micro defect.

sự khác biệt về phản xạ có thể trở nên rõ hơn.

Một số nguồn sáng Coaxial Light chuyên dụng được nhà sản xuất chỉ rõ cho surface damage, scratches và defect inspection trên silicon wafer/chip.

---

7. Ứng dụng thực tế

7.1. Kiểm tra wafer silicon

Đây là ứng dụng tiêu biểu.

Nguồn sáng có thể kết hợp với camera công nghiệp để phát hiện:

• Xước.
• Bụi.
• Nhiễm bẩn.
• Crack.
• Khuyết tật bề mặt.
• Sai lệch vị trí.

Các hệ thống kiểm tra wafer tự động hiện sử dụng camera độ phân giải cao cùng nguồn coaxial LED để kiểm tra wafer 6″, 8″ và 12″.

---

7.2. Kiểm tra chip bán dẫn

Coaxial Light có thể sử dụng để kiểm tra:

• Bề mặt chip.
• Vết xước.
• Contamination.
• Mark.
• Vị trí chip.
• Khuyết tật ngoại quan.

Nguồn sáng Coaxial của OPT cũng được chỉ định cho defect detection trên chip và silicon wafer.

---

7.3. Kiểm tra kính

Phù hợp với:

• Kính quang học.
• Kính công nghiệp.
• Glass substrate.
• LCD glass.

Có thể hỗ trợ phát hiện:

• Xước.
• Bụi.
• Vết bẩn.
• Khuyết tật bề mặt.

---

7.4. Kiểm tra film và LCD

Nguồn sáng đồng trục có thể được sử dụng để kiểm tra các bề mặt phẳng phản xạ như:

• Film.
• LCD.
• Panel.
• Glass substrate.

Các dòng Coaxial Light chuyên dụng cũng được liệt kê cho kiểm tra film, LCD và bề mặt phản xạ.

---

7.5. Kiểm tra kim loại bóng

Có thể sử dụng cho:

• Inox.
• Nhôm.
• Chrome.
• Chi tiết CNC.
• Kim loại đánh bóng.
• Bề mặt mạ.

Các lỗi có thể kiểm tra:

• Scratch.
• Dent.
• Surface defect.
• Vết gia công.
• Contamination.

---

8. Ứng dụng ngoài kiểm tra khuyết tật

Nguồn sáng đồng trục không chỉ dùng để phát hiện lỗi.

Nó còn phù hợp cho:

Định vị wafer

Có thể sử dụng trong hệ thống:

• Wafer positioning.
• Die positioning.
• Pick & place.
• Alignment.

Nguồn sáng đồng trục được sử dụng cho wafer-level/die positioning và guiding trong các hệ thống tự động hóa.

Định vị Mark

Phù hợp để nhận dạng:

• Alignment mark.
• Fiducial mark.
• Mark trên PCB.
• Mark trên linh kiện.

Đọc mã

Có thể kết hợp với camera để đọc:

• Barcode.
• QR Code.
• Data Matrix.
• 2D DPM.

OCR/OCV

Nguồn sáng ổn định giúp tạo điều kiện thuận lợi cho nhận dạng:

• Ký tự laser.
• Serial number.
• Logo.
• Mã sản phẩm.

Các hệ thống Coaxial Light hiện cũng được ứng dụng cho nhận dạng laser-marked characters và 2D codes.

---

9. Thông số kỹ thuật tham khảo

Do tiêu đề chưa cung cấp mã model cụ thể, không nên áp một bảng thông số cố định cho mọi nguồn sáng “thế hệ thứ ba”.

Có thể sử dụng bảng dưới đây để mô tả sản phẩm trên website:

Thông số	Đặc điểm
Tên sản phẩm	Nguồn sáng đồng trục thế hệ 3
Tên tiếng Anh	Third Generation Coaxial LED Light
Loại	Coaxial Light / Coaxial Illumination
Công nghệ	LED Machine Vision
Kiểu chiếu sáng	Đồng trục với camera
Quang học	Half Mirror / Beam Splitter
Đặc tính	Ánh sáng đồng đều, định hướng
Đối tượng phù hợp	Bề mặt phẳng, bóng, phản xạ cao
Ứng dụng chính	Wafer/chip inspection, scratch, contamination
Màu LED	Đỏ / Trắng / Xanh dương / Xanh lá tùy model
Điện áp	Tùy model, thường 12VDC hoặc 24VDC
Điều khiển	Continuous hoặc Strobe tùy cấu hình
Camera	Camera công nghiệp CCD/CMOS
Lắp đặt	Đồng trục với camera/lens
Ứng dụng	Machine Vision, AOI, semiconductor inspection

Để tham khảo, dòng OPT-COH30-R sử dụng LED đỏ, nguồn 24V và công suất 1,4W, được công bố cho wafer OMM và phát hiện khuyết tật. Dòng OPT-COH50-W sử dụng LED trắng, 24V và 5,4W. Đây là các ví dụ về cấu hình Coaxial Light chứ không phải thông số mặc định của mọi sản phẩm “thế hệ 3”.

---

10. Nguồn sáng đồng trục khác gì Dome Light?

Tiêu chí	Coaxial Light	Dome Light
Hướng sáng	Cùng trục camera	Đa hướng/khuếch tán
Bề mặt phẳng bóng	Rất phù hợp	Phù hợp
Wafer	Rất phù hợp	Có thể dùng
Kim loại phẳng bóng	Rất phù hợp	Phù hợp
Bề mặt cong	Hạn chế	Tốt hơn
Giảm hotspot	Tốt	Rất tốt
Scratch trên bề mặt phẳng	Tốt	Tùy lỗi
Contamination	Tốt	Tốt
Cấu trúc	Beam splitter	Vòm khuếch tán
Không gian	Thường gọn theo trục camera	Có thể lớn hơn

Nếu bài toán là:

Wafer phẳng + phản xạ cao + cần phát hiện scratch/contamination

thì Coaxial Light thường là một lựa chọn rất đáng cân nhắc.

Nếu sản phẩm có bề mặt cong, bóng hoặc hình học phức tạp, Dome Light có thể phù hợp hơn.

---

11. Coaxial Light khác Low Angle Ring Light như thế nào?

Tiêu chí	Coaxial Light	Low Angle Ring Light
Hướng chiếu	Đồng trục	Xiên sát bề mặt
Bright Field	Thường	Không phải cấu hình chính
Dark Field	Không phải ưu điểm chính	Rất phù hợp
Wafer phẳng	Rất phù hợp	Phù hợp tùy lỗi
Scratch	Tốt	Rất tốt với một số loại scratch
Edge	Tốt	Rất tốt
Bề mặt phản xạ	Rất tốt	Tốt
Bề mặt cong	Hạn chế	Tùy góc
Contamination	Tốt	Tốt
Laser marking	Tốt	Tốt

Nếu cần nhìn cấu trúc bề mặt, cạnh và xước nhỏ theo hiệu ứng Dark Field, Low Angle Ring Light có thể cho tương phản mạnh hơn.

Nếu cần kiểm tra wafer hoặc bề mặt phẳng phản xạ cao với ánh sáng đồng đều, Coaxial Light thường phù hợp hơn.

---

12. Lưu ý khi lựa chọn nguồn sáng cho wafer

Kích thước vùng quan sát

Cần xác định:

• Đường kính wafer.
• Vùng cần kiểm tra.
• FOV của camera.
• Độ phóng đại lens.

Không nên chọn đèn chỉ dựa trên đường kính hoặc kích thước cơ khí.

---

Độ phân giải camera

Nếu cần phát hiện defect rất nhỏ, nguồn sáng tốt nhưng camera/lens không đủ độ phân giải thì hệ thống vẫn không thể phát hiện được lỗi.

Do đó cần phối hợp:

Light + Lens + Camera + Working Distance + Processing Algorithm.

Một hệ thống kiểm tra wafer thực tế có thể sử dụng camera 12 MP cùng các objective từ 5X đến 100X để đáp ứng các mức kiểm tra khác nhau.

---

Kiểm soát ghosting

Với wafer và bề mặt gương, ghosting có thể ảnh hưởng đáng kể đến chất lượng hình ảnh.

Nên ưu tiên thiết kế sử dụng:

• Anti-reflection coating.
• Half mirror chất lượng cao.
• Beam splitter phù hợp.
• Optical cover chống bụi.

Một số Coaxial Box Light hiện sử dụng half-mirror phủ chống phản xạ và kính bảo vệ để giảm ghosting cũng như hạn chế bụi xâm nhập hệ thống quang học.

---

13. Continuous hay Strobe?

Continuous

Đèn sáng liên tục.

Phù hợp khi:

• Sản phẩm chuyển động chậm.
• Kiểm tra thủ công.
• Hệ thống không yêu cầu tốc độ chụp cao.

Strobe

Đèn chỉ phát sáng trong thời gian rất ngắn đồng bộ với camera.

Ưu điểm:

• Cường độ sáng tức thời cao.
• Có thể giảm motion blur.
• Phù hợp dây chuyền tốc độ cao.
• Có thể tăng tuổi thọ LED trong một số cấu hình.

Một số Coaxial Light công suất cao được nhà sản xuất khuyến nghị sử dụng ở chế độ Strobe để đạt độ sáng cao và kiểm soát nhiệt tốt hơn.

---

14. Đối tượng sử dụng phù hợp

Nguồn sáng đồng trục thế hệ 3 phù hợp với:

• Nhà máy bán dẫn.
• Nhà máy sản xuất wafer.
• Nhà máy chip.
• Nhà máy điện tử.
• Nhà máy sản xuất kính.
• Nhà máy LCD.
• Nhà máy PCB.
• Nhà máy cơ khí chính xác.
• Hệ thống AOI.
• Hệ thống Robot Vision.
• Máy kiểm tra ngoại quan tự động.

Đặc biệt phù hợp với:

Wafer inspection – Chip inspection – Scratch inspection – Contamination inspection – Mark positioning – OCR/OCV – Barcode/2D Code.

---

15. Chính sách & cam kết

CÔNG TY TNHH THIẾT BỊ TỰ ĐỘNG HOÁ MYTECH cung cấp và tư vấn các giải pháp nguồn sáng cho hệ thống Machine Vision, AOI và kiểm tra tự động.

Các thiết bị có thể kết hợp:

• Camera công nghiệp.
• Lens Machine Vision.
• Coaxial Light.
• Low Angle Ring Light.
• Dome Light.
• Ring Light.
• Backlight.
• Bar Light.
• Bộ điều khiển ánh sáng.
• Cáp nguồn sáng.
• Trigger/Strobe Controller.

MYTECH hỗ trợ

• Tư vấn nguồn sáng cho wafer.
• Tư vấn kích thước vùng sáng.
• Tư vấn màu LED.
• Tư vấn Continuous/Strobe.
• Tư vấn camera và lens.
• Tư vấn khoảng cách làm việc.
• Tư vấn giải pháp phát hiện scratch/contamination.
• Hỗ trợ tích hợp với PLC và hệ thống tự động hóa.

Đối với bài toán kiểm tra wafer hoặc chip, nên cung cấp ảnh mẫu sản phẩm và hình ảnh defect cần phát hiện để lựa chọn cấu hình quang học phù hợp.

---

16. Thông tin đặt hàng

CÔNG TY TNHH THIẾT BỊ TỰ ĐỘNG HOÁ MYTECH

📞 Hotline/Zalo: 0968 534 039
📧 Email: haibang0710@gmail.com
🌐 Website: mytek.com.vn

Khi yêu cầu báo giá nguồn sáng Coaxial thế hệ 3, nên cung cấp:

1. Loại wafer/sản phẩm.
2. Kích thước wafer hoặc vùng kiểm tra.
3. Loại defect cần phát hiện.
4. Kích thước defect nhỏ nhất cần phát hiện.
5. Model camera.
6. Model lens.
7. Working Distance.
8. FOV.
9. Tốc độ dây chuyền.
10. Continuous hoặc Strobe.
11. Màu ánh sáng mong muốn.

Các thông tin này giúp lựa chọn đúng nguồn sáng – camera – lens – controller thay vì chỉ chọn đèn theo công suất.

---

17. Câu hỏi thường gặp – FAQ

Nguồn sáng đồng trục thế hệ 3 dùng để làm gì?

Đây là nguồn sáng LED Machine Vision tạo ánh sáng cùng trục với camera, phù hợp với bề mặt phẳng, bóng và phản xạ cao, đặc biệt dùng cho wafer, chip, kính, kim loại và linh kiện điện tử.

Nguồn sáng Coaxial có dùng để kiểm tra wafer không?

Có. Đây là một ứng dụng điển hình. Các nguồn Coaxial Light chuyên dụng được công bố cho wafer OMM, wafer defect detection và silicon wafer inspection.

Có thể phát hiện xước trên wafer không?

Có. Ánh sáng đồng trục có thể làm nổi bật sự thay đổi phản xạ do scratch gây ra, hỗ trợ camera và phần mềm Vision phát hiện lỗi.

Có thể phát hiện bụi trên wafer không?

Có. Contamination detection là một trong những ứng dụng của Coaxial Light trên các bề mặt chính xác và wafer.

Nguồn sáng này có dùng cho chip bán dẫn không?

Có. Coaxial Light có thể dùng để kiểm tra bề mặt chip, phát hiện xước, bụi, contamination và các khuyết tật ngoại quan.

Coaxial Light có dùng được với camera CMOS không?

Có. Nguồn sáng không bị giới hạn bởi CCD hay CMOS. Điều quan trọng là lựa chọn camera, lens và nguồn sáng có FOV, độ phân giải và hình học quang học phù hợp.

“Thế hệ 3” có phải tiêu chuẩn ngành không?

Không nhất thiết. Đây thường là cách đặt tên phiên bản của nhà sản xuất. Khi mua hàng nên xác nhận model cụ thể và datasheet thay vì chỉ dựa vào cụm “thế hệ 3”.

Coaxial Light có phù hợp với bề mặt cong không?

Không phải lựa chọn tối ưu cho bề mặt cong mạnh. Coaxial Light phát huy tốt nhất trên bề mặt phẳng và phản xạ, nơi ánh sáng có thể quay trở lại camera theo đường quang học mong muốn. Với bề mặt cong, Dome Light hoặc nguồn sáng đa góc thường đáng cân nhắc hơn.

Nguồn sáng có cần bộ điều khiển không?

Tùy model. Một số đèn có thể điều khiển trực tiếp, trong khi các hệ thống yêu cầu controller để điều chỉnh độ sáng hoặc Trigger/Strobe.

---